產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:分體式高真空雙靶磁控濺射鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號:CY-MSV325-II-DCDC-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        雙靶磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該雙靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備
        詳情介紹:

        雙靶磁控濺射鍍膜儀是我公司自主研發(fā)的一款高性價比磁控濺射鍍膜設備,具有標準化、模塊化、可定制化的特點。磁控靶有1英寸2英寸可以選擇,客戶可以根據(jù)所鍍基板的大小自主選購;所配電源為兩個500W直流電源,直流電源可用于金屬薄膜的制備,兩個靶可以滿足多層或者多次鍍膜的需要。

        鍍膜儀具有兩路高精度質(zhì)量流量計,客戶若另有需求可以定制至多四路質(zhì)量流量計的氣路,以滿足復雜的氣體環(huán)境構(gòu)建需求;儀器標配先進的渦輪分子泵組,極限真空可達1.0E-5Pa,同時另有其他類型的分子泵可供選購。分子泵的氣路由多個電磁閥控制,可以實現(xiàn)在不關泵的情況下打開腔體取出樣品,大大提高了您的工作效率。本產(chǎn)品可以選配一體機工控電腦對系統(tǒng)進行控制,在電腦程序上可以實現(xiàn)真空泵組的控制、濺射電源的控制等絕大多數(shù)功能,可以進一步提高您的實驗效率。

        應用范圍:

        雙靶磁控濺射鍍膜儀可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導電薄膜、合金薄膜等。該雙靶磁控濺射鍍膜儀與同類設備相比,其不僅應用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,是一款實驗室制備材料薄膜的理想設備.

        技術(shù)參數(shù):

        雙靶磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        雙靶磁控濺射鍍膜儀

        產(chǎn)品型號

        CY-MSV325-II-DCDC-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機功率

        6KW

        系統(tǒng)真空

        ≦5×10-4Pa

        樣品臺

        外形尺寸

        φ150mm

        加熱溫度

        ≦600℃

        控溫精度

        ±1℃

        可調(diào)轉(zhuǎn)速

        ≦20rpm

        磁控靶槍

        靶材尺寸

        直徑Φ50.8mm,厚度≦3mm

        冷卻模式

        循環(huán)水冷

        水流大小

        不小于10L/Min

        數(shù)量

        2

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ325mm,高度500mm

        腔體材質(zhì)

        SUU304不銹鋼

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        開啟方式

        頂開式

        氣體控制

        1路質(zhì)量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

        真空系統(tǒng)

        配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

        膜厚測量

        可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

        濺射電源

        配直流電源,功率500W*2

        控制系統(tǒng)

        CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)

        設備尺寸

        540mm×540mm×1000mm

        設備重量

        145kg



        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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