產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:?jiǎn)问掖趴貫R射鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-SC
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        單室磁控濺射鍍膜儀主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。單室磁控濺射鍍膜儀可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。
        詳情介紹:

        單室磁控濺射鍍膜儀設(shè)備用途:

        用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備??蓮V泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料科研與小批量制備。

        單室磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        真空室

        圓型真空室,尺寸? 450×50mm

        真空系統(tǒng)配置

        復(fù)合分子泵、機(jī)械泵、閘板閥

        極限壓力

        6.67*10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后)

        恢復(fù)真空時(shí)間

        40 分鐘可達(dá)到6 .6*10-4 Pa 。(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣并充入干燥氮?dú)夂箝_(kāi)始抽氣)

        磁控靶組件

        永磁靶三套;靶材尺寸?60mm(其中一個(gè)可濺射磁性材料);各靶射頻灘射和直流裁射兼容;靶內(nèi)水冷;三個(gè)靶可共同折向上面的樣品中心;靶與樣品距離 90~110mm可調(diào);當(dāng)直接向上濺射時(shí),靶與樣品距離40~80mm可調(diào)

        基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺(tái)

        基片結(jié)構(gòu)

        基片加熱與水冷獨(dú)立工作,取下加熱爐可以換上水冷基片臺(tái)

        樣品尺寸

        ?30mm

        運(yùn)動(dòng)方式

        基片可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速 5~10 轉(zhuǎn)/分

        加熱

        基片加熱*高溫度600±1

        基片負(fù)偏壓

        200V

        氣路系統(tǒng)

        質(zhì) 控制器 2

        計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)

        控制樣品轉(zhuǎn)動(dòng),擋板開(kāi)關(guān),靶位確認(rèn)等

        可選配件6工位基片加熱公轉(zhuǎn)臺(tái)

        拆下單基片水冷加熱臺(tái)可以換上該轉(zhuǎn)臺(tái)??赏瑫r(shí)放置630mm的基片;6個(gè)工位中,其中一個(gè)工位安裝加熱爐,其余工位為自然冷卻基片臺(tái);基片加熱*高溫度600 ±1

        設(shè)備占地面積

        主機(jī)

        I300×800mm2

        電控柜

        70×700m2

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