產品詳情
        • 產品名稱:非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一款緊湊型2英寸單頭射頻等離子磁控濺射系統,涂有非金屬,主要是氧化物薄膜。非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀將所有元件集成到一層立式機柜中,包括射頻電源、石英真空室、真空泵、再循環冷水機組和薄膜厚度監控器等。
        詳情介紹:

        非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產品用途

        非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優良且具有成本效益的涂膜機,用于研發非導電材料薄膜

        非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術規格:

        項目

        明細

        產品型號

        CY-MSH300-III-DCDCRF-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機功率

        6KW

        系統真空

        5×10-4Pa

        樣品臺

        外形尺寸

        φ185mm

        加熱溫度

        500℃

        控溫精度

        ±1

        可調轉速

        20rpm

        磁控靶槍

        靶材尺寸

        直徑Φ50.8mm,厚度3mm

        冷卻模式

        循環水冷

        水流大小

        不小于10L/Min

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ300mm,高度500mm

        腔體材質

        SUU304不銹鋼

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        開啟方式

        頂開式

        氣體控制

        1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

        真空系統

        配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S

        膜厚測量

        可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

        濺射電源

        直流電源500W*2,射頻電源500W

        控制系統

        CYKY自研專業級控制系統

        設備尺寸

        600mm × 650mm × 1280mm

        設備重量

        350kg

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