產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:雙靶磁控濺射鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號:CY-MSH500- II-DCRF-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        雙靶磁控濺射鍍膜儀CY-600-2HD為我公司研發(fā)的配有兩個靶位的小型實驗室用鍍膜儀,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜等。與同類設(shè)備相比,這款雙靶磁控濺射鍍膜儀不僅應(yīng)用廣泛,切體積小便于操作,是一款實驗室制備薄膜的理想設(shè)備。
        詳情介紹:

        產(chǎn)品特點

        1:此款鍍膜儀配置有兩個靶槍:一個靶槍配套的是射頻電源,用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜;一個靶槍配套的是直流電源,用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜

        2:該鍍膜儀可以制備多種不同材料的薄膜,應(yīng)用非常廣泛。

        3:該鍍膜儀體積較小,且配備有觸摸屏控制面板,操作方便。

        產(chǎn)品參數(shù):

        項目

        明細(xì)

        產(chǎn)品型號

        CY-MSH500- II-DCRF-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機(jī)功率

        4KW

        系統(tǒng)真空

        5×10-4Pa

        樣品臺

        外形尺寸

        φ140mm

        加熱溫度

        500℃

        控溫精度

        ±1

        可調(diào)轉(zhuǎn)速

        20rpm

        磁控靶槍

        靶材尺寸

        直徑Φ50.8mm,厚度3mm

        冷卻模式

        循環(huán)水冷

        水流大小

        不小于10L/Min

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ500mm,高度560mm

        腔體材質(zhì)

        SUU304不銹鋼

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        開啟方式

        頂開式

        氣體控制

        1路質(zhì)量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

        真空系統(tǒng)

        配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

        膜厚測量

        可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

        濺射電源

        直流電源500W,射頻電源500W

        控制系統(tǒng)

        CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)

        設(shè)備尺寸

        600mm × 650mm × 1280mm

        設(shè)備重量

        350kg



        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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