產品詳情
        • 產品名稱:可程控磁控濺射鍍膜儀

        • 產品型號:CY-PLC
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        可程控磁控濺射鍍膜儀為單腔室結構,主要由濺射真空室、磁控濺射靶、離子轟擊、公轉基片臺、光加熱系統(tǒng)、濺射電源、工作氣路、真空獲得系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量、水冷卻及報警系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。可程控磁控濺射鍍膜儀
        詳情介紹:

        可程控磁控濺射鍍膜儀由工控機和PLC實現控制,有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外,其它操作過程全部在觸摸屏上實現;提供真空系統(tǒng)、濺射工藝設置、充放氣系統(tǒng)等人機操作界面;在工控機上可通過配方設置參數,實現對程序工藝過程和設備參數的設置。

        可程控磁控濺射鍍膜儀設備用途:

        該產品可廣泛應用于半導體、LED和光伏等行業(yè),主要用于各種金屬、半導體及介質材料的薄膜制備,可滿足科研兼小批量生產需要。

        可程控磁控濺射鍍膜儀技術參數:


        濺射室極限真空

        8.0×10-6Pa

        恢復真空時間

        系統(tǒng)從大氣抽至1.0×10-3 Pa15min

        均勻性

        膜厚不均勻性≤±5%;片間不均勻性≤±5%;批次間不均勻性≤±5%

        濺射真空室

        圓筒形結構,尺寸Ф800mm×250mm

        磁控濺射系統(tǒng)

        永磁靶4支,靶材尺寸6英寸;

        1臺進口電源(射頻或直流脈沖可選);

        濺射速率:0.55/秒(靶材Al

        公轉基片臺

        6英寸6片,(4英寸12片或3英寸16片);

        基片公轉315/分,連續(xù)可調,可選配公自轉復合工件臺

        光加熱系統(tǒng)

        樣品加熱溫度:室溫~250℃,連續(xù)可調;

        基片溫度不均勻性:≤±10℃;

        控溫方式為PID自動控溫及數字顯示,配備進口控溫表

        工作氣路

        2路質量流量控制器氣路

        抽氣機組成

        低溫泵(進口)、羅茨干泵機組、氣動閘板閥(進口)、管路等

        真空測量

        2個真空計(進口)對系統(tǒng)真空、工作真空及前級真空進行**檢測;真空度在工控機觸膜屏上可直觀顯示;可準確監(jiān)控濺射鍍膜工藝過程的真空度

        控制系統(tǒng)

        系統(tǒng)由工控機(觸摸屏)和進口PLC實現對整個系統(tǒng)的控制

        占地面積

        主機

        1500×1000mm2

        電控柜

        700×700mm2(一個)

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