產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-TRP
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)主要由濺射真空室、永磁磁控濺射靶(三個(gè)靶)、單基片加熱臺(tái)、直流電源、射頻電源、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于科研院所,實(shí)驗(yàn)室制備單層或多層薄膜,以及新材料新工藝研究。
        詳情介紹:

        真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)設(shè)備用途:

         用于納米級(jí)單層及多層功能膜、硬質(zhì)膜、金屬膜、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜等新型薄膜材料的制備。可廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備。

        真空磁控濺射鍍膜系統(tǒng)技術(shù)參數(shù):

        真空室

        圓筒型前開門結(jié)構(gòu),尺寸?450×40mm

        真空系統(tǒng)配置

        復(fù)合分子泵、機(jī)械泵、氣動(dòng)閘板閥、進(jìn)口SMC氣缸節(jié)流閥

        極限壓力

        6.6 *10-6 Pa。(經(jīng)烘烤除氣后)

        恢復(fù)真空時(shí)間

        25 分鐘可達(dá)到≤6.6×10-6 Pa。(短時(shí)間撰茲大氣并充入干燥氮?dú)夂箝_始抽氣)

        磁控靶組件

        永磁靶三套;靶材尺寸?60mm(其中一個(gè)可濺射磁性材料);各靶射頻灘射和直流裁射兼容;靶內(nèi)水冷;三個(gè)靶可共同折向上面的樣品中心;靶與樣品距離 90~130mm可調(diào);每個(gè)靶配進(jìn)口 SMC 旋轉(zhuǎn)氣動(dòng)擋板

        單基片加熱臺(tái)

        樣品尺寸

        ?4英寸

        運(yùn)動(dòng)方式

        基片可連續(xù)回轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)速 030 轉(zhuǎn)/

        加熱

        進(jìn)口加熱絲加熱,zui高加熱溫度 600 ±1

        擋板形式

        進(jìn)口 SMC 轉(zhuǎn)角氣缸控制

        氣路系統(tǒng)

        質(zhì) 控制器 2

        計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)

        采用 PLC +工控機(jī)+觸摸屏全自動(dòng)控制方式

        可選配件

        膜厚儀、氣泵、水冷循環(huán)機(jī)

        設(shè)備占地面積

        主機(jī)

        I000×1800mm2

        電控柜

        900×600mm2

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