產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSH325-III-DCDCRF-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是一種三頭1"射頻等離子體磁控濺射系統(tǒng),設(shè)計(jì)用于非金屬薄膜涂層,主要用于多層氧化物薄膜。3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀是研究新一代氧化薄膜*具成本效益的涂膜機(jī)。可根據(jù)金屬薄膜沉積要求選擇直流磁控濺射,可配置3個(gè)直流、1個(gè)射頻/ 2個(gè)直流和2個(gè)射頻/ 1個(gè)直流濺射頭。
        詳情介紹:

        3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域:

        這款緊湊型3靶磁控濺射鍍膜機(jī)專為在氧化物單晶基板上涂覆氧化物薄膜而設(shè)計(jì),通常不需要高真空設(shè)置。

        3靶緊湊型磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格:

        項(xiàng)目

        明細(xì)

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-MSH325-III-DCDCRF-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機(jī)功率

        4KW

        系統(tǒng)真空

        5×10-4Pa

        樣品臺(tái)

        外形尺寸

        φ140mm

        加熱溫度

        500℃

        控溫精度

        ±1

        可調(diào)轉(zhuǎn)速

        20rpm

        磁控靶槍

        靶材尺寸

        直徑Φ50.8mm,厚度3mm

        冷卻模式

        循環(huán)水冷

        水流大小

        不小于10L/Min

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ325mm,高度500mm

        腔體材質(zhì)

        SUU304不銹鋼

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        開(kāi)啟方式

        頂開(kāi)式

        氣體控制

        1路質(zhì)量流量計(jì)用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

        真空系統(tǒng)

        配分子泵系統(tǒng)1套,氣體抽速600L/S

        膜厚測(cè)量

        可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

        濺射電源

        直流電源500W*2,射頻電源500W

        控制系統(tǒng)

        CYKY自研專業(yè)級(jí)控制系統(tǒng)

        設(shè)備尺寸

        600mm × 650mm × 1280mm

        設(shè)備重量

        350kg


























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