產品詳情
        • 產品名稱:雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MSH325- II-DCRF-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀緊湊型磁控濺射系統,具有雙靶2"目標源,例如,一個直流源用于涂覆金屬薄膜,另一個射頻源用于涂覆非金屬材料。雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀設計用于涂覆單層或多層薄膜,適用于各種材料,如合金、鐵電、半導體、陶瓷、電介質、光學、聚四氟乙烯等。
        詳情介紹:

        雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀主要特點:

        1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。
        2、可制備多種薄膜,應用廣泛。
        3、體積小,操作簡便。

        雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀技術規格:

        項目

        明細

        產品型號

        CY-MSH325- II-DCRF-SS

        供電電壓

        AC220V50Hz

        整機功率

        4KW

        系統真空

        5×10-4Pa

        樣品臺

        外形尺寸

        φ140mm

        加熱溫度

        500℃

        控溫精度

        ±1

        可調轉速

        20rpm

        磁控靶槍

        靶材尺寸

        直徑Φ50.8mm,厚度3mm

        冷卻模式

        循環水冷

        水流大小

        不小于10L/Min

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ325mm,高度500mm

        腔體材質

        SUU304不銹鋼

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        開啟方式

        頂開式

        氣體控制

        1路質量流量計用于控制Ar流量,量程為:200SCCM

        真空系統

        配分子泵系統1套,氣體抽速600L/S

        膜厚測量

        可選配石英晶體膜厚儀,分辨率0.10 ?

        濺射電源

        直流電源500W,射頻電源500W

        控制系統

        CYKY自研專業級控制系統

        設備尺寸

        600mm × 650mm × 1280mm

        設備重量

        350kg
































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