產品詳情
        • 產品名稱:熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀

        • 產品型號:CY-EVZ270-I-HP-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等
        詳情介紹:

        等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個腔體內即實現了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體,鍍膜過程完全可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-4Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa,可滿足大多數蒸發鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環境。本儀器體積小,節省空間,能夠置于試驗臺上使用,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構選用。

        離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀適用范圍:

        熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀適用于掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等。

        熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀技術參數:

        產品名稱

        熱蒸發與等離子鍍膜復合型鍍膜儀

        產品型號

        CY-EVZ270-I-HP-SS

        樣品臺

        位  置

        頂部設置

        外形尺寸

        直徑φ150mm

        轉  速

        0-20 rpm可調

        可調溫度

        500

        熱蒸發源

        鎢舟

        蒸發電源

        蒸發源配一組獨立電源

        濺射電源

        直流電源

        濺射靶

        數量2”×1

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ273mm×H300mm

        觀察窗口

        直徑φ80mm

        腔體材質

        304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        膜厚測量

        晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀)

        真空系統

        前級泵

        雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

        次級泵

        渦輪分子泵,氣體抽速60L/S

        真空測量

        復合真空計(電離規+電阻規)

        系統真空

        5×10-4Pa

        控制系統

        CYKY自研專業級控制器

        其他參數

        供電電源

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        600mm×500mm×850mm

        整機功率

        7KW

        整機重量

        120kg

        豫公網安備 41019702002438號

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