產品詳情
        • 產品名稱:雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀

        • 產品型號:CY-MS500S-2TA1S
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。
        詳情介紹:

        CY-MS500S-2TA1S雙靶磁控及蒸發復合鍍膜儀可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。

        設備主要由不銹鋼真空腔體、磁控濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。

        設計特色

        1. 設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。

        2. 真空室采用下置靶設計,樣品臺具有加熱和旋轉但是功能,可以使鍍膜效果更加均勻。

        3. 設備真空獲得系統采用兩級真空泵組,前級泵為大抽速機械泵,有效縮從常壓至低真空的時間,主泵為渦輪分子泵,抽速高,真空獲取速度更快。 整體真空獲得系統干凈快速。

        4. 真空腔體采用304不銹鋼制成,配有觀察窗口及擋板。造型美觀做工精細,真空性能優異。

        5. 主要密封法蘭采用 CF系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效保證鍍膜質量。

        技術參數:

        磁控濺射頭

        數量

        2英寸 x2

        冷卻方式

        水冷

        蒸發系統

        蒸發源

        鎢絲籃

        *高溫度

        1800



        真空腔體

        腔體尺寸

        φ325mm X 600mm

        觀察窗口

        φ100mm

        腔體材料

        304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        真空系統

        機械泵

        旋片泵

        抽氣接口

        KF16

        抽氣速率

        1.1L/s

        分子泵

        渦輪分子泵

        抽氣接口

        CF150

        抽氣速率

        600L/s

        排氣接口

        KF40

        真空測量

        電阻規+電離規

        極限真空

        1.3x10-4Pa

        供電電源

        AC;220V 50/60Hz

        電源配置

        直流電源數量

        1

        輸出功率

        1500W

        輸出電壓

        600W

        響應時間

        5ms

        射頻電源數量

        1

        輸出功率

        1500W

        功率穩定度

        5W

        射頻功率

        13.56MHz

        射頻穩定度

        ±0.005%

        膜厚監控系統

        膜厚儀測量分辨率

        ±0.03Hz

        測量精度

        ±0.5%

        測量上限

        50000

        測量速度

        100~1000ms

        水冷系統

        水箱容積

        9L

        流量

        10L/min

        供氣系統

        流量計類型

        質量流量計

        量程

        200sccm

        氣體類型

        Ar

         

        其他

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機功率

        4kw(主機+真空泵)

        整機尺寸

        1000x950x1300mm

        整機重量

        295kg


        樣式一:尺寸150mm,加熱溫度≤500℃ 控溫精度±1℃, 旋轉速度1-20r/min


        樣式二:尺寸φ150mm,高度 上下70mm精準可調,旋轉速度1~20rpm,加熱溫度 0~500℃



        豫公網安備 41019702002438號

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