產品詳情
        • 產品名稱:碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀

        • 產品型號:TN-PEC250G-HV
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理,碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀采用機械泵和分子泵,實現高真空。
        詳情介紹:

        ○ 產品介紹

        TN-PEC250G-HV碳鎢蒸發等離子濺射復合鍍膜儀可進行真空蒸碳、真空熱蒸發和等離子濺射,它也可以在高純氬氣的保護之下進行多種離子處理。通過更換功能套件,設備可以在多種功能間快速切換,非常適合實驗室制作SEM樣品使用。本儀器裝有機械泵和分子泵,能夠滿足多種真空度要求,尤其能夠實現高真空,能夠有效提高鍍膜質量。

        ○ 適用范圍

        實驗室鍍膜使用。

        ○ 技術參數

        真空腔體
         高純石英,鐘罩狀,φ250x340mm
        蒸發腔體 
         高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm
        等離子濺射腔體
         高純石英,鍍罩狀,帶側面開孔,尺寸φ88x150mm


         等離子濺射套件 

         濺射電壓1600V

        *大電流50mA
        靶面尺寸2英寸
        工作真空10Pa~20Pa
        工作氣氛需通入高純氬氣


        熱蒸發鍍膜套件

         蒸發源數量2個

        *大電流100A
        工作真空10^-3Pa
        工作氣氛不通入任何氣體
        樣品臺直徑φ60mm,可旋轉


         


         碳蒸發套件

         蒸發方式碳棒蒸發

        *大電流160A
        工作真空10^-3Pa
        工作氣氛不通入任何氣體
        真空系統
         產品型號TN-GZK103-A
        分子泵渦輪分子泵
        前極泵雙極旋片泵
        抽氣速率分子泵:600L/S綜合抽氣性能:30分鐘真空度可達:5×10E-3Pa
        旋片泵:1.1L/S
        極限真空5×10E-4Pa
        抽氣接口KF40
        排氣接口KF16
        真空測量復合真空計
        進氣系統
         配有手動微調閥,接口為1/4英寸卡套接頭
        供電要求
         AC 220V 50Hz

        ○免責聲明

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