產品詳情
        • 產品名稱:等離子濺射蒸發二合一鍍膜儀

        • 產品型號:
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        CY-EVS180G-LV二合一鍍膜儀,可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。 設備主要由石英真空室、等離子濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。 設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。真空室采用上中下結構,樣品臺與靶的距離靈活可調。 設備真空獲得系統采用上等雙極旋片泵。 具有體積小,噪音小,無油污污染等優點。 真空腔體采用石英加工而成,呈現圓柱結構,外形美觀,大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效鍍膜質量。
        詳情介紹:

        本產品為二合一鍍膜儀,可用于電子產品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。設備主要由石英真空室、等離子濺射靶,蒸發鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規管,進氣系統和控制系統組成。
        設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數字化參數界面和自動化操作方式為用戶提供了優良的研發平臺。真空室采用上中下結構,樣品臺與靶的距離靈活可調。
        設備真空獲得系統采用上等雙極旋片泵。 具有體積小,噪音小,無油污污染等優點。
        真空腔體采用石英加工而成,呈現圓柱結構,外形美觀,大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優良,能有效鍍膜質量。
        技術參數:

        樣品臺

        φ80mm

        至蒸發源間距

        20mm~50mm可調

        φ80mm

        直流濺射頭

        數量

        2” x1

        蒸發系統

         

        蒸發源

        鎢絲籃

        *高溫度

        1700℃

        熱電偶

        S型熱電偶

        真空腔體

         

        腔體尺寸

        φ180mm X 150mm

        觀察窗口

        全向透明

        腔體材料

        高純石英

        開啟方式

        頂蓋拆卸式

        真空系統

         

         

         

        機械泵

        GHD-031B

        抽氣接口

        KF16

        真空測量

        電阻規

        排氣接口

        KF16

        極限真空

        10E-1Pa

        供電電源

        AC;220V 50/60Hz

        抽氣速率

        旋片泵:4L/S

        濺射電源配置

        數量

        直流電源 x1

        *大輸出功率

        150w

         

        其他

         

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        500 X 350 X 400mm

        整機重量

        15kg

        整機功率

        1.5kw

        豫公網安備 41019702002438號

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