產品詳情
        • 產品名稱:小型高真空二合一鍍膜儀

        • 產品型號:
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。
        詳情介紹:

        等離子濺射和蒸發二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。為了提高鍍膜質量,本臺二合一鍍膜儀采用的不銹鋼真空腔體配合精密分子泵的高真空設計,較高的真空度能夠有效的提升鍍膜純凈度和均勻度,有利于得到更好的實驗效果。樣品臺有旋轉和加熱功能,能夠提高薄膜的附著力和成膜的均勻度。本儀器體積小,節省空間,能夠置于試驗臺上使用,非常適合各大高校及研究機構選用。

        小型高真空二合一鍍膜儀適用范圍:

        掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等。

        小型高真空二合一鍍膜儀技術參數:

        小型高真空二合一鍍膜儀

        樣品臺

        尺寸

        φ138mm

        控溫精度

        ±1

        加熱溫度

        *高500

        轉速

        1-20rpm可調

        直流濺射頭

        數量

        2”×1

        蒸發系統

        蒸發源

        鎢絲籃

        *高溫度

        1700

        熱電偶

        S型熱電偶

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ170mm×200mm

        觀察窗口

        石英觀察窗 φ70

        腔體材料

        不銹鋼

        開啟方式

        上開啟式

        真空系統

        產品型號

        CY-GZK103-A

        抽氣接口

        KF40

        分子泵

        CY-600

        排氣接口

        KF16

        前極泵

        旋片泵

        真空測量

        復合真空計

        極限真空

        1.0E-5Pa

        抽氣速率

        分子泵:600L/S  旋片泵:1.1L/S  綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達: 1.0E-3Pa

        濺射電源配置

        數量

        直流電源×1

        Max 輸出功率

        150w

        其他

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        600mm×300mm×470mm

        整機功率

        1.5kw

        整機重量

        40kg


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