產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:桌面型二合一鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號:CY-EVS180G-A
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        本產(chǎn)品為二合一鍍膜儀,可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備
        詳情介紹:

        本產(chǎn)品為二合一鍍膜儀,可用于電子產(chǎn)品、玻璃、陶瓷樣品、金屬等樣品的鍍膜。尤其適合實驗室SEM(掃描電鏡)的樣品制備。設備主要由石英真空室、等離子濺射靶,蒸發(fā)鍍膜裝置,放置樣品的樣品臺,真空泵機組、真空測量規(guī)管,進氣系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。

        設備主機采用觸摸顯示屏操作,溫控表檢測。其數(shù)字化參數(shù)界面和自動化操作方式為用戶提供了優(yōu)良的研發(fā)平臺。真空室采用上中下結(jié)構(gòu),樣品臺與靶的距離靈活可調(diào)。

        設備真空獲得系統(tǒng)采用上等雙極旋片泵。 具有體積小,噪音小,無油污污染等優(yōu)點。

        真空腔體采用石英加工而成,呈現(xiàn)圓柱結(jié)構(gòu),外形美觀,大方。主要密封法蘭采用 KF 系列高真空密封法蘭。真空腔體各接口均采用橡膠密封圈密封,真空性能優(yōu)良,能有效鍍膜質(zhì)量。

        二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù):


        產(chǎn)品型號

        CY-EVS180G-A

        安裝條件

        1、使用環(huán)境溫度 25℃±15℃,濕度 55%Rh±10%Rh;

        2、設備供電:AC220V,50Hz,必須有良好接地;

        3、額定功率:1500w;

        4、設備用氣:設備腔室內(nèi)需充注氬氣清洗,需客戶自備氬氣,純度 ≥99.99%;

        5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm,承重 50kg 以上;

        6、擺放位置要求通風。

        技術(shù)參數(shù)

        1、 蒸發(fā)源數(shù)量:1鎢絲籃/鎢舟

        2、 適用蒸發(fā)膜料:金銀銅等不易被氧化的金屬,碳繩;

        3、 等離子濺射靶數(shù)量:1x2”

        4、 適用靶材:金銀銅等比重大,化學性質(zhì)穩(wěn)定的金屬;適用尺寸φ50mm x3mm

        5、 蒸發(fā)源電壓:10V

        6、 蒸發(fā)電流 0~100A 連續(xù)可調(diào)

        7、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃;

        8、 不銹鋼樣品臺,直徑為60mm;蒸發(fā)時使用樣品臺下表面及配套夾具,濺射時使用樣品臺上表面,直接將樣品放置在平面上。

        9、 樣品臺距離蒸發(fā)源距離20~50mm可調(diào)。當使用濺射功能時樣品臺應和靶面距離30mm~50mm。

        10、 真空腔體為石英腔體其直徑為180mm,高度為150mm;

        11、 真空腔體抽氣接口為 KF25;

        12、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭,默認配不銹鋼微調(diào)閥以調(diào)節(jié)進氣量;

        13、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏;

        14、 可調(diào)節(jié)蒸發(fā)電流、濺射電流,可設置蒸發(fā)**電流值、**真空值;

        15、 **保護:過流、真空過低自動切斷電流;

        16、 極限真空:1Pa(搭配雙級旋片泵);

        17、 真空測量為電阻規(guī)真空計,其量程為:1~105Pa

        注意事項

        1、對于蒸鍍對氧較敏感的材料,建議增配分子泵組。

        2、為了達到較高的無氧環(huán)境,至少要用高純惰性氣體對真空腔體清洗 3 次。

        可選配件

        膜厚監(jiān)測儀

        1、膜厚分辨率:0.0136?(鋁)

        2、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置, 材料應力,溫度和密度

        3、測量速度:100ms-1s/次,可設置測量范圍:500000?(鋁)

        4、標準傳感器晶體:6MHz

        5、適用晶片頻率:6MHz 適用晶片尺寸:Φ14mm 安裝法蘭:CF35

        其他配件

        1、鎢舟、鎢絲籃;

        2、CY-CZK103系列高性能分子泵組(含復合真空計,測量范圍10-5Pa~105Pa);

        CY-GZK60系列小型分子泵組(含復合真空計,測量范圍10-5Pa~102Pa

        VRD-4雙極旋片真空泵

        3、KF25真空波紋管;長度可選0.5m、1m、1.5m;KF25卡箍支架

        4、膜厚儀晶振片;


        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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