產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱(chēng):等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-EVS180S-HV
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用304不銹鋼腔體作真空腔體,鍍膜過(guò)程完全可見(jiàn)。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵,能夠快速達(dá)到1.0E-3Pa的真空度,極限真空度1.0E-5Pa,可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用,一機(jī)多用,性價(jià)比突出,非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。
        詳情介紹:

        離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀適用范圍:

        掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導(dǎo)體材料試驗(yàn)電極的制作等。


        離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        供電電壓

        AC220V60Hz

        *大功率

        1200W

        樣品臺(tái)

        直徑φ65mm;

        與蒸發(fā)源間距可調(diào),調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm

        真空腔體

        材質(zhì):304不銹鋼 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

        *高溫度

        1700℃

        熱電偶

        B型熱電偶

        真空計(jì)

        電子式真空計(jì)

        真空系統(tǒng)

        前級(jí)泵:浦發(fā)MVP030 無(wú)油泵   抽速30L/min

        次級(jí)泵:萊寶TURBOVAC 90iX   抽速90L/s

        真空接口

        KF40

        進(jìn)氣接口

        1/4卡套接頭

        整機(jī)尺寸

        500x350x400mm





        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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