產品詳情
        • 產品名稱:等離子體增強型化學氣相沉積PECVD

        • 產品型號:CY-PECVD-500T-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        化學氣相沉積采用等離子體增強型化學氣相沉積技術,能夠利用高能量等離子體促進反應過程,有效提升反應速度,降低反應溫度。適用于在光學玻璃、硅、石英以及不銹鋼等不同襯底材料上沉積氮化硅、非晶硅和微晶硅等薄膜,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂,適用于制備非晶硅和微晶硅薄膜太陽電池器件,可廣泛應用于大專院校、科研院所的薄膜材料的科研與小批量制備
        詳情介紹:

        PECVD技術參數:


        供電電源

        AC220V 50Hz (歐標)

        射頻電源

        信號頻率

        13.56MHz

        功率輸出范圍

        0~500W

        *大反射功率

        100W

        反射功率 (在*大功率時)

        <5W

        功率穩定性

        ±0.1%

        工作腔體

        加熱溫度

        RT-1000℃

        溫控精度

        ±1℃

        樣品臺尺寸

        Φ200mm

        樣品臺轉速

        1-20rpm 可調

        噴頭尺寸

        Φ90mm

        距離

        噴頭與樣品之間的距離40-100mm連續可調

        沉積工作真空

        0. 133- 133Pa (可根據工藝調整)

        法蘭

        上法蘭可由電機升降,基材易更換,并有可視窗口

        腔體

        不銹鋼材質, Φ500mm * 500mm

        觀察窗

        Φ100mm, 帶擋板

        供氣系統

        通道數

        6

        測量單位

        質量流量計

        測量范圍

        A 通道: 0200SCCM for H2  

        B 通道: 0200SCCM for CH4

        C 通道: 0200SCCM for C2H4

        D通道: 0500SCCM for N2

        E通道: 0500SCCM for NH3

        F通道: 0500SCCM for Ar

        測量精度

        ±1.5%F.S

        工作壓差

        -0.15Mpa~0.15Mpa

        連接管材質

        304 不銹鋼

        氣路

        304 不銹鋼針閥

        進氣和出氣接口規格

        1/4" 卡套接頭

        真空系統

        前級泵抽速

        4.7L/s

        分子泵抽速

        1200L/s

        真空測量

        復合真空計, 范圍10-5Pa ~ 105Pa

        真空度

        5.0*10-3Pa

        水冷機

        冷卻水溫度

        37

        水流速

        10L/min

        功率

        0.1KW

        冷卻功率

        50W/℃

        空壓機

        OTS-550



        豫公網安備 41019702002438號

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