產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:卷對卷PECVD石墨烯制備設(shè)備柔性透明電極連續(xù)生產(chǎn)

        • 產(chǎn)品型號:CY-OTF-1200X-III-PE300-RR
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        卷對卷PECVD石墨烯制備設(shè)備主要應(yīng)用于計算機(jī)和智能手機(jī)屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發(fā)光設(shè)備和其他薄膜電子產(chǎn)品
        詳情介紹:

        卷對卷式PECVD是一套卷對卷石墨烯制備管式爐系統(tǒng),設(shè)備由卷對卷銅箔收放密封裝置、1200°C三溫區(qū)管式爐、 真空機(jī)組3部分組成。此設(shè)備可用于大面積、高質(zhì)量石墨烯及其他二維材料的規(guī)模化生長。

        卷對卷式PECVD應(yīng)用范圍:

        計算機(jī)和智能手機(jī)屏幕,超輕、柔性的太陽能電池,以及新型的發(fā)光設(shè)備和其他薄膜電子產(chǎn)品領(lǐng)域。

        等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積

        卷對卷PECVD技術(shù)參數(shù):

        性能指標(biāo)和基本配置

        產(chǎn)品名稱

        卷對卷式PECVD

        產(chǎn)品型號

        CY-OTF-1200X-III-PE300-RR

        1000W等離子源

        ● 輸出功率:50-1000W*大可調(diào)±1%
        ● RF頻率: 13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005%
        ● 噪聲:≤55DB
        ● 冷卻:風(fēng)冷
        ● 輸入功率:1KW  AC 220V

        三路質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)

        ● 電壓:AC220V/50Hz
        ● 功率:23W
        ● PLC觸摸屏控制
        ● 混氣罐尺寸:φ80*120mm
        ● 工作溫度:5~45℃
        ● *大壓力: 3x106 Pa
        ● 精度: ±1.5% FS
        ● 線性: ±(0.5-1.5)%F.S.
        ● 重復(fù)精度: ±0.2%F.S.
        ● 流量范圍:
        ● 一路: 1~50 SCCM (甲烷標(biāo)定)
        ● 二路: 1~200 SCCM (氫氣標(biāo)定)
        ● 三路: 1~200 SCCM (氬氣標(biāo)定)
        氣體種類標(biāo)定根據(jù)客戶要求可以進(jìn)行其它選擇

        真空測量單元

        ● 型號:PCG-800
        ● 顯示范圍:3.8E-5 to 1125 Torr
        精度:
        ● 5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50
        ● 1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15
        ● 100 … 950 mbar % of reading ±5
        ● 950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

        低真空機(jī)組(標(biāo)配)

        ● 由雙旋機(jī)械泵、雙層立式油霧過濾器(PE材質(zhì))、電阻真空計以及連接管道接頭等組成
        ● 真空泵抽氣速率≥4.4L/s
        ● 極限真空度10-1Pa
        ● 真空計測量范圍10-1Pa-105 Pa

        卷對卷銅箔收放密封裝置

        ● 采用卷對卷收放卷機(jī)構(gòu)進(jìn)行銅箔的移動進(jìn)出料,銅箔的移動速度為1-400mm/min可調(diào);
        ● 配置一卷測試銅箔

        ● 收放卷機(jī)構(gòu)別放置于管式爐兩端真空腔體內(nèi),保證銅箔可在密封生長條件下進(jìn)行運動,實現(xiàn)大規(guī)模制備 。
        ● 收卷機(jī)構(gòu)與管式爐之間設(shè)置冷卻裝置用于銅箔的快速冷卻。

        產(chǎn)品尺寸

        大約2400*800*1250mm

        產(chǎn)品重量

        大約720kg

        質(zhì)量認(rèn)證

        電器元件可選擇通過CE認(rèn)證

        保修期

        一年保修,終身技術(shù)支持。
        特別提示:
        1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
        2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。



        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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