產品詳情
        • 產品名稱:三溫區PECVD石墨烯制備

        • 產品型號:CY-PECVD50-1200-Q
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        三溫區PECVD廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上
        詳情介紹:

        等離子增強CVD系統由等離子發生器,三溫區管式爐、射頻電源、真空系統組成。等離子增強CVD系統為了使化學反應能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應,因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD), 該PECVD石墨烯薄膜制備設備借助13.56Mhz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內形成等離子體,利用等離子的強化學活性,改善反應條件,利用等離子體的活性來促進反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。


        三溫區PECVD應用范圍:

        等離子增強CVD系統可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種試驗場所。可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOxSiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜,并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應用于刀具、高精模具、硬質涂層、高duan裝飾等領域

         三溫區PECVD技術參數: 


        產品名稱

        三溫區PECVD

        產品型號

        CY-PECVD50-1200-Q

        三溫區管式爐

        工作溫度:0-1100℃

        控溫精度:±1℃

        控溫方式:AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

        爐管材質:高純石英

        爐管尺寸:φ50mm I.D x 1400mm L

        加熱溫區:三溫區 200mm+200mm+200mm

        密封方式:不銹鋼真空法蘭

        極限真空度:4.4E-3Pa

        射頻電源

        輸出功率:0-300W zui大可調±1%

        RF頻率: 13.56MHz,穩定性±0.005%

        噪聲:≤55DB

        冷卻:風冷

        質量流量計

        三路質量流量計

        閥門類型:不銹鋼針閥

        氣路數量:三路

        承壓范圍:-0.15Mpa~0.15Mpa

        量程

        1~200 SCCM

        1~200 SCCM

        1~500 SCCM

        流量控制范圍:±1.5%

        氣路材料:304不銹鋼

        管道接口:6.35mm卡套接頭

        真空系統

        配有一套分子泵系統,采用一鍵式操作

        600L/S

        水冷系統

        CW-3200

        電壓

        220V 50HZ

         

        豫公網安備 41019702002438號

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