產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)

        • 產(chǎn)品型號:CY-PECVD50R-1200-Q
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)由等離子發(fā)生器,三溫區(qū)管式爐、單溫區(qū)管式爐、射頻電源、真空系統(tǒng)組成。等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD), 該P(yáng)ECVD石墨烯薄膜制備設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內(nèi)形成等離子體,利用等離子的強(qiáng)化學(xué)活性,改善反應(yīng)條件,利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。
        詳情介紹:

        產(chǎn)品介紹:

              等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)由等離子發(fā)生器,三溫區(qū)管式爐、單溫區(qū)管式爐、射頻電源、真空系統(tǒng)組成。等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD), 該P(yáng)ECVD石墨烯薄膜制備設(shè)備借助13.56Mhz的射頻輸出等使含有薄膜組成原子的氣體電離,在真空腔體內(nèi)形成等離子體,利用等離子的強(qiáng)化學(xué)活性,改善反應(yīng)條件,利用等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。


        等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)適用范圍:

        等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)可以用于:石墨烯制備、硫化物制備、納米材料制備等多種試驗(yàn)場所。可在片狀或類似形狀樣品表面沉積SiOx、SiNx、非晶硅、微晶硅、納米硅、SiC、類金剛石等多種薄膜,并可沉積p型、n型摻雜薄膜。沉積的薄膜具有良好的均勻性、致密性、粘附性、絕緣性。廣泛應(yīng)用于刀具、高精模具、硬質(zhì)涂層、高duan裝飾等領(lǐng)域。 

         

        等離子增強(qiáng)CVD系統(tǒng)技術(shù)參數(shù): 

        區(qū)

        產(chǎn)品型號

        CY-PECVD50R-1200-Q

        爐管材質(zhì)

        高純石英

        爐管直徑

        50mm

        爐管長度

        2830mm

        爐膛長度

        660mm

        加熱區(qū)長

        200mm+200mm+200mm

        工作溫度

        01100

        控溫精度

        ±1

        控溫模式

        30段或50段程序控溫

        顯示模式

        LCD

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        法蘭接口

        1/4英寸卡套接頭,KF16/25/40接頭

        可抽真空

        4.4E-3Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        區(qū)

        產(chǎn)品型號

        CY-O1200-50IT

        爐管材質(zhì)

        高純石英

        爐管直徑

        50mm

        爐管長度

        2830mm

        爐膛長度

        440mm

        加熱區(qū)長

        400mm

        恒溫區(qū)長

        200mm

        工作溫度

        01100

        控溫精度

        ±1

        控溫模式

        30段或50段程序控溫

        顯示模式

        LCD

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        法蘭接口

        1/4英寸卡套接頭,KF16/25/40接頭

        可抽真空

        4.4E-3Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        RF

        統(tǒng)

        功率范圍

        0~500W可調(diào)

        工作頻率

        13.56MHz+0.005%

        工作模式

        連續(xù)輸出

        顯示模式

        LCD

        匹配阻抗模式

        能夠匹配,起輝均勻布滿三溫區(qū)爐管

        功率穩(wěn)定度

        2W

        正常工作反射功率

        3W

        放大反射功率

        70W

        諧波分量

        -50dBc

        整機(jī)效率

        70%

        功率因素

        90%

        供電電壓/頻率

        單相交流(187V~153V 頻率50/60Hz

        控制模式

        內(nèi)控/PLC 模擬量/RS232/485通訊

        電源保護(hù)設(shè)置

        DC過流保護(hù),功放過溫保護(hù),反射功率保護(hù)

        冷卻方式

        強(qiáng)制風(fēng)冷

        起輝長度

        Ar下射頻電源與線圈配合起輝輝光能布滿三個(gè)溫區(qū)的爐體長度

        統(tǒng)

        四路質(zhì)子流量計(jì)

        質(zhì)子流量計(jì)

        流量范圍

        MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm

        MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm

        分別對應(yīng)氣體H2 CH4 N2 Ar

        測量精度

        ±1.5%F.S

        重復(fù)精度

        ±0.2%FS

        線性精度

        ±1%F.S.

        響應(yīng)時(shí)間

        4s

        工作壓力

        -0.15Mpa~0.15Mpa

        流量控制

        液晶觸摸屏控制,數(shù)字顯示,每路氣體含有針閥單獨(dú)控制

        進(jìn)氣接口

        可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

        出氣接口

        可接1/4NPS或者外徑6mm不銹鋼管

        連接方式

        雙卡套接頭

        工作溫度

        5~45

        氣體預(yù)混

        配氣體預(yù)混裝置

        供電電源 

         AC:220V 50/60Hz

        統(tǒng)

        機(jī)械泵

        旋片泵

        抽氣速率

        1.1L/S   

        排氣接口

        KF16

        真空測量

        電阻規(guī)

        極限真空

        1.0E-1Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        抽氣接口

        KF16

        軌道

        軌道長度

        3米,能實(shí)現(xiàn)三溫區(qū)爐子一個(gè)爐位長度的滑動(dòng),實(shí)現(xiàn)快速升降溫


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