產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:等離子增強型CVD系統(tǒng)

        • 產(chǎn)品型號:CY-PECVD50R-1200-Q
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
        你添加了1件商品 查看購物車
        簡單介紹:
        CY-PECVD50R-1200-Q是一款等離子增強型CVD系統(tǒng)。此系統(tǒng)由150W射頻電源、單溫區(qū)管式爐、3通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵組成。
        詳情介紹:

        ○ 產(chǎn)品介紹


        CY-PECVD50R-1200-Q是一款等離子增強CVD系統(tǒng)。此系統(tǒng)由150W射頻電源、溫區(qū)管式爐、3通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)、性能優(yōu)異的真空泵組成。


        ○ 技術(shù)參數(shù)

        結(jié)構(gòu)特點

        ? 150W射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度

          ? 3通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進(jìn)行**的調(diào)控 

        工作電源

         ? AC208-220V,50/60Hz

        ? 總功率:4KW

        溫區(qū)管式

         ? *高溫度:1100oC(< 2h) 連續(xù)工作溫度:1000℃

         ? PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng) 

        ? 輸入功率:220V,單相,功率:1.5KW

        ? 加熱區(qū)長度:200mm溫區(qū):100mm 

        ? 爐體開啟式設(shè)計,以達(dá)到對樣品快速降溫,方便更換爐管 

        等離子射頻電源

        ? 輸出功率:0-150W可調(diào)(穩(wěn)定性:±1%

        ? 射頻頻率:13.56MHz(穩(wěn)定性:±0.005%)

        ? *大反射功率:150W

         ? 匹配:手動匹配

        ? 射頻輸出端口:50ΩN

        ? 噪音:<50dB

        ? 冷卻: 空氣冷卻

        ? 電源: 220VAC, 50/60Hz 

        石英管

        ? 高純石英管

        ? 尺寸:φ50mm*1200mm L 

        密封法蘭  

        ? 一對不銹鋼快接法蘭(法蘭上安裝有KF25真空接頭)

        真空泵(該部分為選配,單獨計費)

        ? 雙級真空泵 

        ? KF16卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵 

        3通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)(該部分為選配,單獨計費)

        ? 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的**控制(**度:±0.02% 

        ? 流量范圍: 

        一路: 0~100 SCCM 

        二路: 0~200 SCCM 

        三路: 1~200 SCCM 

        ? 電壓:220V AC 50/60Hz

        ? 氣體進(jìn)出口配件:直徑6.35mm不銹鋼管

        ? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進(jìn)出

        尺寸和重量

         ? 1400mm L x 600mm W x 1240mm H

         ? 凈重:90kg  

        質(zhì)保期

        ? 一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(石英管、O型密封圈、加熱元件等耗材除外)

        質(zhì)量認(rèn)證

         ? CE認(rèn)證 

        使用注意事項

        ? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa 

        ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥 

        ? 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài) 

        ? 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

         ? 石英管的長時間使用溫度<1100℃

         ? 對于樣品加熱的實驗,使用時不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生 


        ○ 免責(zé)聲明


        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

        精品久久久久久久久亚洲偷窥女厕| 亚洲人成在线免费观看| 久久久久亚洲AV成人无码| 亚洲国产日产无码精品| 2022中文字字幕久亚洲| 亚洲免费在线观看视频| 久久久久亚洲精品天堂| 亚洲精品无码久久不卡| 亚洲一区二区三区乱码在线欧洲| 亚洲狠狠婷婷综合久久久久 | 亚洲神级电影国语版| 国产精品亚洲αv天堂无码| 亚洲一区在线视频| 亚洲免费在线视频观看| 国产色在线|亚洲| 一区二区三区亚洲| 亚洲综合激情九月婷婷| 亚洲精品国产电影午夜| 亚洲区精品久久一区二区三区| 亚洲国产成人手机在线电影bd | 亚洲视频中文字幕| 亚洲韩国在线一卡二卡| 亚洲成色在线综合网站| 亚洲综合色区在线观看| 国产亚洲精品资在线| 精品国产亚洲一区二区三区在线观看| 亚洲AⅤ男人的天堂在线观看| 亚洲区精品久久一区二区三区| 亚洲国产精品午夜电影| 精品丝袜国产自在线拍亚洲| 一本色道久久88亚洲精品综合| 亚洲视屏在线观看| 亚洲人成网站日本片| 学生妹亚洲一区二区| 综合偷自拍亚洲乱中文字幕| 亚洲欧洲自拍拍偷精品 美利坚| 亚洲一区无码中文字幕| 亚洲精品国产高清不卡在线| 久久国产成人亚洲精品影院 | 亚洲国产综合久久天堂| 亚洲精品你懂的在线观看|