產品詳情
        • 產品名稱:凈化旋涂儀帶加熱臺

        • 產品型號:CY-SPC4-SS-JH
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作
        詳情介紹:

        凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此設備進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠; 是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備 。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作

        凈化旋涂儀

        凈化型勻膠機技術參數:

        產品名稱

        凈化旋涂儀帶加熱臺

        產品型號

        CY-SPC4-SS-JH

        勻膠機

        電源電壓

        AC220V, 50Hz

        旋轉速度

        0~9999rpm, adjustable

        加速度

        100~5000rpm/s

        速度分辨率

        1rpm

        時間分辨率

        1s

        單步時間

        3000s

        基片尺寸

        直徑≤4英寸(100mm

        腔體材質

        亞克力

        操作方式

        按鍵+液晶屏

        點膠方式

        手動點膠,可選精密注射泵

        勻膠曲線

        每條曲線5段,共可存儲5條曲線

        抽氣口

        φ6mm快擰接口

        真空吸盤

        直徑10mm, 25mm, 55mm

        整體尺寸

        210mm×250mm×180mm

        加熱板

        加熱板尺寸

        150*150mm

        加熱溫度

        RT~300C

        溫度分辨率

        0.1C

        控溫精度

        ±1C

        溫度均勻性

        <±2C

        電源

        AC220V, 50Hz

        凈化柜

        尺寸

        800*680*1700mm

        內部布局

        內部左側放4英寸亞克力腔體勻膠機,右側放加熱板

        凈化等級

        美國標準100%

        照明

        內置LED照明燈

        排氣系統

        真空泵

        干式機械泵

        抽氣速率

        50L/min

        電源

        AC220V, 60Hz


        豫公網安備 41019702002438號

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