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小型旋轉涂覆儀產品用途：
勻膠機可以將液態(tài)或膠體材料涂覆在硅片、晶體、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要應用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制作、溶膠凝膠法制作高分子薄膜等領域。小型旋轉涂覆儀技術參數(shù)：
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項目 |
明細 |
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旋涂儀 |
供電電壓 |
AC220V 50Hz |
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轉速 |
0~10000rpm |
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加速度 |
100~5000rpm/s |
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轉速分辨率 |
1rpm |
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單步時間 |
3000s |
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基片尺寸 |
直徑≤4英寸（100mm） |
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腔體材質 |
不銹鋼 |
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操作方式 |
按鍵+液晶屏 |
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滴膠方式 |
手動滴膠，可選購精密注射泵 |
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勻膠曲線 |
每條曲線5段，共可儲存5條曲線 |
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抽氣接口 |
φ6mm 快擰接口 |
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整機尺寸 |
210mm × 250mm × 210mm |
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整機重量 |
8kg |
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排氣系統(tǒng) |
真空泵 |
干式機械泵 |
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抽氣速率 |
50L/min |
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供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
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