產品詳情
        • 產品名稱:真空防腐型勻膠機

        • 產品型號:CY-S-V
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        CY-S-V真空防腐型勻膠機是內腔真空密封,采用承壓式內腔和蓋子,保證內腔環境可以抽真空至-0.06MPa以上負壓下進行勻膠處理。CY-S-V真空防腐型勻膠機有真空和常規兩種模式操作,可以在內腔抽真空和基片真空吸附兩種方式下進行。
        詳情介紹:

        真空防腐型勻膠機性能優點:

        1.真空防腐型勻膠機主機機箱采用PP外殼材料,耐腐蝕易清潔

        2.內腔采用易清潔、耐腐蝕超高分子材料(HDPE)

        3.采用工業級別伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。

        4.排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。

        5.透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發。

        真空防腐型勻膠機技術參數:
        旋涂程序:至多可存100組程序,每組100步,每個步驟可**到0.1秒

        轉動速度:0-10,000rpm(更高速可選)

        旋涂加速度:0-50,000rpm/sec(空載)

        馬達旋涂轉速穩定性能誤差 :<±1rpm

        轉速調節精度及重復性:1rpm

        CY-S-V真空防腐型勻膠機帶真空數字顯示功能

        工藝時間設定:0-3,000sec/step,時間設置精度:0.1sec

        支持晶圓尺寸:碎片至200mm(8”圓晶)

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