產品詳情
        • 產品名稱:凈化型4寸勻膠機

        • 產品型號:CY-SPC4-SS-JH
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        凈化型勻膠機廣泛用于半導體硅片的勻膠鍍膜等,例如對大型晶圓、芯片、晶片等進行工藝制版時,可用此凈化型勻膠機進行各種膠體的表面涂覆或光刻工藝勻膠;是集成電路及半導體器件生產過程中涂覆勻膠的專用設備?。該設備中涂膠部分含有兩個工位的勻膠臺,可分別獨立工作,也可兩臺同時工作。
        詳情介紹:

        凈化型勻膠機特點:

        1、帶有100級空氣凈化裝置,可有效除去勻膠臺周圍空氣中的污染微塵,防止

           勻膠過程中的雜質污染。

        2、 設置有LED照明燈,可程控照明,非常方便日常操作。

        3、可設置時間--轉速曲線,程序控制勻膠工藝

        4、7英寸液晶顯示屏,操作簡單易學無需專業學習

        5、采用無刷伺服電機,電機設計避免光刻膠等污染物進入電機內部。
        6、機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼、永不生銹,便于清洗。
        7、排風和抽氣系統位計于載片臺之底部 (以利于排風效率和勻膠均一性)。
        8、透明可視,耐化學腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業時完全隔絕光阻的溢出有效

             隔絕有毒氣味的散發。

        9、前面板設置有電動玻璃屏升降按鈕,可電動升降前擋玻璃板。

        主要技術參數:

        勻膠時間

        1-99 

        勻膠轉數

        0-8000/

        操作區風速

        0.3-0.5/(有效操作區氣流狀態:垂直層流()適用于φ8mm-φ100mm晶體硅片及其它材料等勻膠

        凈化效果

        100級(美國聯邦標準)

        外形尺寸

        650x750x1620mm 

        外體顏色

        亞白色

        控制范圍和精度

        轉速控制范圍為:500-8000轉,精度為±3%

        時間控制范圍為

        1-99秒,精度為±5%

        轉速調整

        采用PID調節,精度高

        轉速查看智能化

        可自動識別哪個電機開或關,自動轉換到開啟的電機上。可予先選定,也可在運行中隨時查看任一電機的轉速



        豫公網安備 41019702002438號

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