產品詳情
        • 產品名稱:大型勻膠機旋涂儀

        • 產品型號:CY-SPC12-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        本設備為大型勻膠機,采用大功率伺服電機,配合高精度驅動器,可實現對大尺寸樣品的**勻膠實驗
        詳情介紹:
        本設備為大型勻膠機,采用大功率伺服電機,配合高精度驅動器,可實現對大尺寸樣品的**勻膠實驗。
        勻膠腔體采用不銹鋼材質,美觀大方,方便清潔。并且腔體帶有閉鎖裝置,在裝入樣品后能夠閉鎖腔體,防止發生意外時樣品飛出,能夠有效保護使用者。腔體內置排膠口,便于收集廢液。*大能支持直徑300mm厚度2.3mm的樣品。

        本設備采用高精度驅動器,轉速分辨率可達0.2rpm。

        勻膠機技術參數:

        產品型號

        CY-SPC12-SS

        勻膠腔體

        不銹鋼材質,*大支持直徑300mm厚度2.3mm的晶圓內置排膠口

        轉速

        3000rpm

        轉速分辨率

        0.2rpm

        控制方式

        15英寸全高清觸控屏,可使用USB接口升級程序

        供電

        AC220V 50Hz 2kW

        真空泵

        無油真空泵,抽速120L/min

        真空接口

        KF16

        豫公網安備 41019702002438號

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