產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號:CY-EVV195-II-HH-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀適用于蒸發(fā)涂覆大多數(shù)金屬和某些有機材料薄膜
        詳情介紹:

        本儀器是一種具有兩個蒸發(fā)源的高真空蒸發(fā)鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發(fā)源,并且樣品臺和蒸發(fā)源之間的距離是可調(diào)的。 該儀器可以穩(wěn)定地蒸發(fā)金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統(tǒng)的**真空10E-5Pa,可有效提高涂層質(zhì)量,并能滿足大多數(shù)蒸發(fā)涂層實驗所需的真空環(huán)境。

        高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀用途:

        高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀適用于蒸發(fā)涂覆大多數(shù)金屬和某些有機材料薄膜。

        高真空蒸發(fā)鍍膜儀

        高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        高真空雙源熱蒸發(fā)鍍膜儀

        產(chǎn)品型號

        CY-EVV195-II-HH-SS

        樣品臺

        位  置

        頂部設(shè)置

        外形尺寸

        直徑φ65mm

        轉(zhuǎn)  速

        0-20 rpm

        間  距

        樣品架和蒸發(fā)源之間的距離可調(diào)

        可調(diào)溫度

        500

        熱蒸發(fā)源

        鎢絲籃×2個,鎢舟×2

        蒸發(fā)電源

        每個蒸發(fā)源配一組獨立電源;雙個蒸發(fā)源可同時共蒸

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ195mm×H210mm

        觀察窗口

        直徑φ100mm

        腔體材質(zhì)

        304不銹鋼

        開啟方式

        上開蓋

        膜厚測量

        晶體膜厚測量儀(也可選膜厚控制儀)

        真空系統(tǒng)

        前級泵

        雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

        次級泵

        渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

        真空測量

        復(fù)合真空計(電離規(guī)+電阻規(guī))

        系統(tǒng)真空

        5×10-4Pa

        控制系統(tǒng)

        CYKY自研專業(yè)級控制器

        其他參數(shù)

        供電電源

        AC380V,50Hz

        整機尺寸

        600mm×650mm×1500mm

        整機功率

        7KW

        整機重量

        260kg

        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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