產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱(chēng):近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-EVH300JJL-5"-Q
        • 產(chǎn)品廠(chǎng)商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐,具有11"外徑的石英管。它是專(zhuān)為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部),zui大加熱速率20oC/s。兩個(gè)30段精密溫度控制器內(nèi)置,精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件,允許通過(guò)PC操作爐子和溫度曲線(xiàn)記錄。它是研究新一代太陽(yáng)能電池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池。
        詳情介紹:

        近距離有機(jī)物蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐,具有11"外徑的石英管。它是專(zhuān)為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。近距離蒸發(fā)鍍膜爐采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部),zui大加熱速率20oC/s。兩個(gè)30段精密溫度控制器內(nèi)置,精度為+/-1oC。包括RS485端口和控制軟件,允許通過(guò)PC操作爐子和溫度曲線(xiàn)記錄。它是研究新一代太陽(yáng)能電池薄膜的主要工具,如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池。


        近距離蒸發(fā)鍍膜爐產(chǎn)品特點(diǎn):

         1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果,加熱元件被嵌在水冷裝置上。
         2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片(Φ76mm×0.5mm),使得樣品基片上的溫度更加均勻。
         3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上,用于盛放蒸發(fā)料。
         4、真空法蘭通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封,通過(guò)機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá)10-2torr,通過(guò)分子泵真空度可達(dá)10-5torr。
         5、兩個(gè)真空法蘭都可以通過(guò)手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)。
         6、一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部,可以準(zhǔn)確測(cè)量腔內(nèi)真空度。

        近距離蒸發(fā)鍍膜爐技術(shù)規(guī)格:

        產(chǎn)品名稱(chēng)

        5英寸近距離蒸發(fā)鍍膜爐

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-EVH350JJL-5"-Q

        樣品臺(tái)

        外形尺寸

        5"x5"

        轉(zhuǎn)速

        1-20RPM

        可調(diào)溫度

        950

        熱蒸發(fā)源

        20個(gè)紅外燈管作為加熱元件

        真空腔體

        腔體尺寸

        350 mm Dia x 300 mm h

        觀(guān)察窗口

        100 mm

        腔體材質(zhì)

        高純石英

        開(kāi)啟方式

        前開(kāi)門(mén)式

        膜厚測(cè)量

        晶體膜厚測(cè)量?jī)x(也可選膜厚控制儀)

        真空系統(tǒng)

        配有一套分子泵系統(tǒng)

        系統(tǒng)真空

        1×10-5Pa

        流量計(jì)

        兩路浮子流量計(jì) 16 -160 mL/m  500 - 5000 mL/m

        工作溫度

        每個(gè)加熱器的*高溫度:RT-950

        兩個(gè)加熱器之間的*大溫差:<= 300o取決于兩個(gè)加熱器之間的間距:間距 30mm *大。 溫差:315oC @ 僅加熱底部

        溫控系統(tǒng)

        兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制上下兩個(gè)加熱區(qū),可設(shè)置30段升降溫程序 每個(gè)溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護(hù)

        水    

        循環(huán)水冷機(jī)(KJ-5300型,16L/min)

        控制系統(tǒng)

        CYKY自研專(zhuān)業(yè)級(jí)控制器

        其他參數(shù)

        供電電源

        208V 60HZ  三相

        整機(jī)尺寸

        600mm×650mm×1500mm



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