產品詳情
        • 產品名稱:桌面型雙源蒸發鍍膜儀

        • 產品型號:CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        本產品為桌面型小型雙源蒸發鍍膜儀,設備安裝有兩套蒸發源,各蒸發源分別供電,可交替開啟也可同時開啟;每個蒸發源可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍
        詳情介紹:

        本產品為桌面型小型雙源蒸發鍍膜儀,設備安裝有兩套蒸發源,各蒸發源分別供電,可交替開啟也可同時開啟;每個蒸發源可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍,因此被廣泛用于電極的制備和有機物發光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作,配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境。兩組蒸發源對稱放置,每個蒸發源均具有單獨的擋板,可保證鍍膜過程中不被污染。

        小型雙源蒸發鍍膜技術參數:

        產品名稱

        桌面型雙源蒸發鍍膜儀

        產品型號

        CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS

        樣品臺

        外形尺寸

        直徑φ60mm

        轉速

        ≦20rpm

        至蒸發源間距

        60~100mm 連續可調

        蒸發源

        配 2 個鎢舟、2個鎢絲籃

        蒸發電源

        2個,每個蒸發源均配擋板

        真空腔體

        腔體尺寸

        直徑φ170mm,高度210mm

        觀察窗口

        直徑φ60mm

        腔體材

        304不銹鋼

        開啟方式

        上開啟式

        膜厚測量

        膜厚測量儀(可選膜厚控制儀)

        真空系統

        前級泵

        雙極旋片泵,氣體抽速1.1L/S

        次級泵

        渦輪分子泵,氣體抽速600L/S

        真空測量

        復合真空(電離規+電阻規)

        系統真空

        5×10-4Pa

        控制系統

        CYKY自研專業級控制器

        其他參數

        供電電

        AC220V,50Hz

        整機尺寸

        600mm×600mm×750mm

        整機功率

        1200W

        整機重量

        40kg


        豫公網安備 41019702002438號

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