產品名稱：桌面型雙源蒸發鍍膜儀

本產品為桌面型小型雙源蒸發鍍膜儀，設備安裝有兩套蒸發源，各蒸發源分別供電，可交替開啟也可同時開啟；每個蒸發源可提供*大100A的鍍膜電流，*大蒸發溫度可達1800℃，能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍，因此被廣泛用于電極的制備和有機物發光LED的制備。真空腔體采用不不銹鋼制作，配合分子泵組可達到5x10^-5Pa極限真空，能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境。兩組蒸發源對稱放置，每個蒸發源均具有單獨的擋板，可保證鍍膜過程中不被污染。

小型雙源蒸發鍍膜技術參數：

產品名稱	桌面型雙源蒸發鍍膜儀
產品型號	CY-EVZ170-Ⅱ-H-SS
樣品臺	外形尺寸	直徑φ60mm
	轉速	≦20rpm
	至蒸發源間距	60～100mm 連續可調
熱蒸發源	配 2 個鎢舟、2個鎢絲籃
蒸發電源	2個，每個蒸發源均配擋板
真空腔體	腔體尺寸	直徑φ170mm，高度210mm
	觀察窗口	直徑φ60mm
	腔體材質	304不銹鋼
	開啟方式	上開啟式
膜厚測量	晶體膜厚測量儀（也可選膜厚控制儀）
真空系統	前級泵	雙極旋片泵，氣體抽速1.1L/S
	次級泵	渦輪分子泵,氣體抽速600L/S
	真空測量	復合真空計(電離規+電阻規)
	系統真空	5×10-4Pa
控制系統	CYKY自研專業級控制器
其他參數	供電電源	AC220V,50Hz
	整機尺寸	600mm×600mm×750mm
	整機功率	1200W
	整機重量	40kg