產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:三源高真空熱蒸發(fā)鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-EVH300-III-HHH-SS
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用于金屬和介電膜,薄膜傳感器的制造,光學(xué)元件,納米與微電子,太陽能電池.
        詳情介紹:

        本設(shè)備為三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀,設(shè)備采用前開門式真空腔體設(shè)計(jì),腔體空間大,可拓展性強(qiáng),能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發(fā)鍍膜。腔體內(nèi)配有上置樣品臺(tái),可根據(jù)用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)、水冷,所有操作均通過觸控屏集成控制。設(shè)備的真空泵組為兩級式真空系統(tǒng),由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗(yàn)提供清潔無油的高真空的環(huán)境;真空系統(tǒng)內(nèi)含有完善的氣動(dòng)閥系統(tǒng),用戶可通過觸控屏進(jìn)行一鍵式操作實(shí)現(xiàn)抽取真空、不停機(jī)取放樣、完全停機(jī)等操作。

        詳情介紹:

        本設(shè)備的蒸發(fā)源共三組,采取鎢舟蒸發(fā)源,水冷式銅電極,加熱溫度*高可達(dá)1800℃,可實(shí)現(xiàn)多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨(dú)立熱蒸發(fā)源,不會(huì)導(dǎo)致鍍材互相污染。本設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì),腔體和電控部分左右分置,實(shí)現(xiàn)了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結(jié)合的設(shè)計(jì),真空系統(tǒng)、樣品臺(tái)等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發(fā)、膜厚控制等通過面板獨(dú)立操作,在盡可能方便用戶的同時(shí)規(guī)避了誤操作的可能。該設(shè)備設(shè)計(jì)完善性能優(yōu)越,是實(shí)驗(yàn)室高精度蒸發(fā)鍍膜試驗(yàn)的必備之選。

        三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域:

        金屬和介電膜,薄膜傳感器的制造,光學(xué)元件,納米與微電子,太陽能電池.

        真空蒸發(fā)鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品名稱

        三源高真空蒸發(fā)鍍膜儀

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-EVH300-III-HHH-SS

        樣品臺(tái)

        尺寸

        *大支持φ150mm樣品

        功能

        可旋轉(zhuǎn),冷卻

        蒸發(fā)源

        數(shù)量

        鎢舟x3

        電源

        每個(gè)蒸發(fā)源配一組獨(dú)立電源;三個(gè)蒸發(fā)源共三組獨(dú)立電源

        真空腔體

        腔體尺寸

        φ300x400mm

        觀察窗口

        前置φ100mm

        腔體材料

        304不銹鋼

        開啟方式

        前開門式

        膜厚控制(選配)

        晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

        真空系統(tǒng)

        前級泵

        雙極旋片泵

        抽氣接口

        KF16

        次級泵

        渦輪分子泵

        抽氣接口

        ISO160

        真空測量

        電阻+電離,復(fù)合真空規(guī)

        排氣速率

        機(jī)械泵1.1L/s,分子泵 600L/s

        極限真空

        1.0E-5Pa

        供電電源

        AC 220V 50/60Hz

        抽氣速率

        旋片泵:1.1L/S

        控制系統(tǒng)

        PLC自動(dòng)控制

        操作界面:觸控屏+操作面板

        (觸摸屏可控制沉積過程和快速數(shù)據(jù)輸入;用戶友好 PLC 軟件系統(tǒng),可以通過網(wǎng)絡(luò)更新)

        其他

        供電電壓

        AC220V,50Hz

        整機(jī)尺寸

        1200mm X 900mm X 1650mm

        整機(jī)功率

        5kW

        整機(jī)重量

        500kg

        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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