產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:帶手套箱三源蒸發(fā)鍍膜儀

        • 產(chǎn)品型號:CY-EVH400-III-HHH-SS-STX
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        鍍膜設(shè)備以金屬/有機(jī)源蒸發(fā)為主體,適用于實驗室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導(dǎo)體膜等,也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗等
        詳情介紹:

        一、設(shè)備性能:

        鍍膜設(shè)備以金屬/有機(jī)源蒸發(fā)為主體,適用于實驗室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導(dǎo)體膜等,也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗等,整套設(shè)備操作簡便,綜合功能多,擴(kuò)展空間大,適合及滿足大專院校的教學(xué)與科研工作。

        二、設(shè)備基本結(jié)構(gòu):

        鍍膜設(shè)備由真空室腔體,金屬/有機(jī)源系統(tǒng),樣品臺系統(tǒng),真空泵機(jī)組,膜厚檢測系統(tǒng),設(shè)備機(jī)架,電控系統(tǒng)組成,真空室前門可與手套箱對接,采用一體化的設(shè)計方案,整套設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、布局簡潔,避免實驗設(shè)備外觀凌亂的現(xiàn)象。

        三、設(shè)備技術(shù)指標(biāo):

        產(chǎn)品名稱

        帶手套箱三源蒸發(fā)鍍膜儀

        產(chǎn)品型號

        CY-EVH400-III-HHH-SS-STX

        真空室腔體

        外形

        上等 304 不銹鋼 D 形真空室腔體 1 套,真空室內(nèi)部尺寸 D400*480mm,前后雙開門,后門采用鉸鏈?zhǔn)椒介T,方便清洗真空腔體,真空室內(nèi)部調(diào)試,維修以及取放物品,前門采用橫拉方門,前后門各配 DN100 視窗 1 套;

        底部

        金屬源接口 2 套,有機(jī)源接口 4 套, 復(fù)合分子泵接口 1 套,CF25照明接口 2 套以及膜厚探頭接口 3 套;

        頂部

        樣品臺接口 1 套,電動擋板接口 1 套,高真空氣動擋板閥接口 1

        左側(cè)

        超高真空氣動擋板閥接口 1

        金屬/有機(jī)源系統(tǒng)

        金屬蒸發(fā)源

        金屬蒸發(fā)源 2 :水冷銅電極 2 組,兼容蒸發(fā)舟(鎢、鉬和鉭舟)和螺旋絲,配氣動擋板,1KW 直流恒流電源 1 臺(數(shù)字顯示),電流調(diào)整精度 1A(微調(diào)),功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍;

        有機(jī)蒸發(fā)源 4

        有機(jī)蒸發(fā)源 4 :4CC4ml) 石英舟,溫控電源 2 臺(溫控表顯示精度 0.1℃),溫度區(qū)間:室溫-500℃(控溫精度±1℃),配氣動擋板;

        隔板

        蒸發(fā)源相互獨立,隔板分隔,避免交叉污

        樣品臺系統(tǒng)

        基片旋轉(zhuǎn)

        轉(zhuǎn)速 030 轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào)

        基片升降

        電動升降,襯底與蒸發(fā)源間距 200-300mm 通過觸摸屏連續(xù)可調(diào);

        樣品臺

        圓形托盤 1 套,一次可放置820×20mm 基片

        基片擋板

        電動擋板

        真空泵機(jī)組

        1) 600L/s分子泵 1 臺;

        2) 8L/s雙級泵 1

        3) CF150 氣動超高真空插板閥 1 臺;

        4) CF40 超高真空氣動擋板閥 1 臺;

        5) KF16 高真空氣動擋板閥 1 臺;

        6) KF40 高真空氣動擋板閥 1 臺;

        7) KF40 真空電磁充氣閥 1 臺;

        8) KF40 泵閥連接軟管 2 套,KF40 三通 1 套;
        9) ZDF-5227 數(shù)顯真空計 1 臺(測量范圍:1×1051×10-5Pa)。

        膜厚檢測系統(tǒng)

        膜厚儀

        三通道石英晶振膜厚監(jiān)測儀 1 套;

        膜厚探頭

        CF35 水冷膜厚探頭 3

        設(shè)備機(jī)架

        1) 40 碳鋼方管焊接機(jī)架 1 套,表面噴塑;

        2) 萬向輪 4 件,移動調(diào)整;

        3) M16 地腳 4 件,鎖緊定位

        電控系統(tǒng)

        金屬源蒸發(fā)源氣動擋板

        2

        金屬蒸發(fā)源電源1kw

        1

        有機(jī)源蒸發(fā)源氣動擋板

        4

        有機(jī)蒸發(fā)源電源

        2套(12

        烘烤照明電源

        1

        樣品臺電動擋板

        1

        總控制電源

        1

        PLC 控制

        配觸摸屏

        手套箱

        腔體尺寸

        L1200* W750* H900mm

        手套

        3

        大過渡艙

        內(nèi)徑360mm, 600mm

        小過渡艙

        內(nèi)徑150mm, 300mm

        其他技術(shù)參數(shù)

        1) 缺相保護(hù)、誤操作保護(hù),聯(lián)動互鎖以及一鍵真空啟停等功能;

        2) 供電:~220V 兩相供電系統(tǒng)(峰值 3KW);

        3) 供水:小型冷水機(jī),冷卻水溫度 5℃~35℃,工作環(huán)境溫度:10℃~40℃;

        4) 供氣:小型無油靜音氣泵,提供 0.2-0.3MPa 氣壓,驅(qū)動氣動閥門;

        5) 極限真空:優(yōu)于 6×10-5Pa,大氣至 6×10-4Pa 時間小于 35 分鐘(充干燥氮氣),關(guān)機(jī)

        12 小時真空度≤10Pa


        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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