產品詳情
        • 產品名稱:緊湊型紫外線臭氧清洗機

        • 產品型號:CY-CU
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        緊湊型紫外線臭氧清洗機用于清潔所有類型的晶體基板,以低成本實現更好的薄膜質量。此外,緊湊型紫外線臭氧清洗機是去除和剝離光刻膠、改善表面潤濕性、清潔SEM和TEM樣品、UV聚合物活化、組裝等的理想工具。
        詳情介紹:

        緊湊型紫外線臭氧清洗機采用不需要任何溶劑的干式清洗技術,對清洗表面沒有損傷。采用大功率低壓石英汞燈,產生波長185nm和254nm的紫外線,185nm的光可以將氧分子O2轉變成活性的臭氧分子O3,254nm的光同時激發清洗表面的有機分子,使其更容易被臭氧分子吸收并分解。由于臭氧分子存在時間短,且同時也被254nm的光分解,因此可調節樣品臺到燈管的距離來優化性能。

        緊湊型紫外線臭氧清洗機技術參數:

        輸入功率

        AC 110V or AC 208~240V( 可選的)

        紫外燈

        ?     固體金屬雙波汞燈

        ?     紫外燈功率:zui大55W。

        ?     波長:254nm和185nm

        ?     紫外燈使用壽命:2500小時

        ?     紫外線照射面積:100×100 mm(4”×4”)

        ?     峰值紫外線強度:4.6毫瓦/平方厘米。

        腔室和樣品臺

        ?     外形尺寸:9 1/2”×7 7/8”×6”

        ?     抽屜尺寸:5 1/4”×5 1/4”×1”

        ?     抽屜到燈的距離:1 1/16“

        ?     從基座到燈的距離:5/16“

        ?     硼硅酸鹽玻璃基座:4”×4”×3/4”

        ?     18號鋼制底盤和蓋板,粉末涂層

        ?     總重量:9磅

        合規

        CE認證

        保證

        一年有限保修,終身支持(耐熱玻璃室不保修)

        環境要求

        ?    只在室內使用;海拔高度可達5,562英尺;

        ?    溫度范圍41-104華氏度;

        ?    zui高相對濕度80%,高達87 華氏度線性降低至50%相對濕度,華氏104度;

        ?    主電源波動不超過額定電壓的10%;過壓類別II;

        ?    污染等級2;臭氧水平(環境)測量<45 ppb。

        Application

        ?    清潔SPT,AFM**和表面的分子污染

        ?    固化UV-粘合劑

        ?    SAM表面的紫外光圖案化

        ?    氧化PDMS

        ?    蝕刻,圖案,銳化

        ?    清潔MEMS器件

        ?    清潔襯底表面,如Si,Ge,GaAs和所有氧化物晶體襯底

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