產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:緊湊型等離子清洗機(jī)

        • 產(chǎn)品型號:CY-PC13.56M-2L-150Q
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
        你添加了1件商品 查看購物車
        簡單介紹:
        緊湊型等離子清洗機(jī)帶有數(shù)字真空傳感器和顯示器,以及鉸鏈門。適用于各種氣體對2英寸以下晶圓片的納米級有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下,有機(jī)去除率zui高約為10nm /min。緊湊型等離子清洗機(jī)是一種較好的單晶基材涂裝前預(yù)清潔的工具,可達(dá)到較好的涂膜質(zhì)量。
        詳情介紹:

        緊湊型等離子清洗機(jī)主要特點(diǎn):

        1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機(jī)污染物,至多可容納2"。
        2.涂層前預(yù)清洗單晶基板的優(yōu)良工具,可獲得更好的薄膜質(zhì)量。
        3.鉸鏈?zhǔn)介T,便于樣品裝載。
        4.3"直徑石英腔室,適用于清潔2”晶圓,可選配石英舟。
        5.石英室內(nèi)的可移動(dòng)石英管易于清潔和更換。

        緊湊型等離子清洗機(jī)技術(shù)參數(shù):

        主要部件

        指標(biāo)名稱

        參數(shù)指標(biāo)

        清洗倉體

        清洗倉材質(zhì)

        高純石英

        清洗倉尺寸

        直徑120mm;長度280mm

        電源特性

        該電源為全固態(tài)射頻電源,采用高穩(wěn)定高可靠的功放模塊和直流模塊,有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質(zhì)量的電子元器件,使產(chǎn)品的可靠性得以保證。

        電源優(yōu)勢

        ● 可長時(shí)間正常運(yùn)行
        ● 操作簡單靈活

        ● 電源效率高、發(fā)熱少
        ● 具有完善的反射功率保護(hù)功能

        射頻功率

        0~100W連續(xù)可調(diào)/0~150W連續(xù)可調(diào)

        信號頻率

        13.56MHz ±0.005%

        反射功率

        ≤200W

        功率穩(wěn)定度

        ±0.1%

        射頻接頭

        N型頭

        整機(jī)效率

        75%

        諧波分量

        -50 dBc

        冷卻方式

        強(qiáng)制風(fēng)冷

        測量部件

        浮子流量計(jì)

        氣體通道

        兩通道

        A通道量程

        10100ml

        B通道量程

        16160ml

        真空測量

        數(shù)字真空計(jì)(電阻規(guī))

        真空抽取

        雙極旋片泵

        電機(jī)轉(zhuǎn)速

        50Hz時(shí)為:144060Hz時(shí)為:1720

        抽氣速率

        50Hz時(shí)為:1.1L/s60Hz時(shí)為:1.3L/s

        真空量程

        1Pa100000Pa

        極限真空1

        Pa

        電機(jī)噪音

        56dB

        管道接口

        進(jìn)氣口:KF16;排氣口KF16.

        連接管道

        KF16真空波紋管

        真空閥門

        電磁閥 

        電機(jī)功率

        400W

        供電電源

        AC220V 50/60Hz

        整機(jī)功率

        1000W/1500W

        使用溫度

        -10--40

        工作真空

        40Pa

        整機(jī)尺寸

        540mm×650mm×600mm

        整機(jī)重量

        78kg


        免責(zé)聲明:本站產(chǎn)品介紹內(nèi)容(包括產(chǎn)品圖片、產(chǎn)品描述、技術(shù)參數(shù)等),僅供參考。可能由于更新不及時(shí),會(huì)造成所述內(nèi)容與實(shí)際情況存在一定的差異,請與本公司銷售人員聯(lián)系確認(rèn)。本站提供的信息不構(gòu)成任何要約或承諾,本公司會(huì)不定期完善和修改網(wǎng)站任何信息,恕不另行通知,請您見諒。

        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

        亚洲精品白浆高清久久久久久| 国产AV无码专区亚洲AV麻豆丫| 亚洲人成电影网站免费| 亚洲综合一区二区精品久久| 亚洲国产精品无码久久久蜜芽| 伊人久久大香线蕉亚洲五月天| 久久精品亚洲乱码伦伦中文| 精品国产人成亚洲区| 国产精品亚洲美女久久久| 亚洲性久久久影院| 中文字幕亚洲天堂| 亚洲中文字幕日产乱码高清app| 亚洲一区日韩高清中文字幕亚洲| 亚洲精品人成无码中文毛片| 亚洲精品国产V片在线观看| 亚洲天堂在线视频| 久久亚洲国产精品五月天婷| 亚洲中文字幕无码久久综合网| 亚洲国产美女精品久久久久∴| 亚洲成A人片777777| 亚洲综合婷婷久久| 亚洲精品国产手机| 亚洲综合伊人制服丝袜美腿| 亚洲中文字幕久久精品蜜桃| 亚洲av无码日韩av无码网站冲| 精品亚洲福利一区二区| 亚洲?v女人的天堂在线观看| 亚洲精品成人网久久久久久| 亚洲人成人无码网www电影首页 | 午夜在线a亚洲v天堂网2019| 亚洲五月丁香综合视频| 亚洲精品永久在线观看| 国产成人亚洲精品播放器下载 | 亚洲国产精品线在线观看| 亚洲色图校园春色| 亚洲色偷偷色噜噜狠狠99网| 久久久亚洲精华液精华液精华液| 亚洲国产V高清在线观看| 亚洲女同成av人片在线观看| 99人中文字幕亚洲区| 国产成人亚洲精品|