產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:桌面RTP快速退火爐

        • 產(chǎn)品型號:CY-RTP1000-Φ150-400-T
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設(shè)備。RTP快速退火爐采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120MM,可以直接放下4英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時,也大大降低了間接污染試樣的可能性。
        詳情介紹:

          RTP快速退火爐由我公司自主研發(fā)的功能強大的加熱設(shè)備。該產(chǎn)品采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,造型新穎結(jié)構(gòu)合理,爐體和爐管可以自由滑動,可實現(xiàn)快速升降溫。爐管內(nèi)尺寸120MM,可以直接放下4英寸的材料。試樣反應(yīng)區(qū)處在一個密閉的石英腔體內(nèi),在完成生產(chǎn)工藝的同時,也大大降低了間接污染試樣的可能性。

         

        主要功能和特點:

        1、可視化7寸觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便;

        2、爐體配備高精度移動平臺,運行平穩(wěn)無抖動;

        3、爐管可自由移動,且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;當(dāng)爐管移出爐膛時冷確風(fēng)扇啟動,可實現(xiàn)試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗要求;

        4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成,采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達(dá)5000小時,升溫速度快,*高溫度可達(dá)1050℃。

        5、預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用;

        6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過我司專用軟件,與計算機互聯(lián),可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;

        7、設(shè)置超溫報警并斷電,漏電保護,操作可靠。

         

        主要用途和適用范圍:

          用于半導(dǎo)體器件研發(fā)及生產(chǎn)等領(lǐng)域,可滿足離子注入后的快速退火、歐姆接觸快速合金、硅化物合金退火,氧化物生長以及銅銦鎵硒光伏應(yīng)用中的硒沉積等快速熱處理工藝場合。


        主要技術(shù)參數(shù):

         產(chǎn)品型號

         CY-RTP1000-Φ150-400-T

         爐體結(jié)構(gòu)

         雙層殼體結(jié)構(gòu),高精度移動平臺

         爐膛材質(zhì)

         真空吸附成型的上等高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

         爐管材質(zhì)

         高純石英管φ210*650mm,有效試樣空間:8英寸

         密封法蘭

         不銹鋼快速擠壓密封法蘭

         溫控系統(tǒng)

         溫度控制系統(tǒng)采用觸摸屏操作,人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)自整定功能,并可編制 8段升降溫程序;控溫精度土1C

         顯示模式

         液晶觸摸屏顯示

         加熱元件

         進(jìn)口紅外燈管

         測溫元件

         N型熱電偶(可選配內(nèi)置熱電偶,實時監(jiān)測加熱物料溫度)

         使用溫度

         *高溫度1050℃,連續(xù)工作溫度≤1000

         升溫速度

         推薦≤80/S,*快升溫速度200/S

         降溫速度

         200℃以上≤25min

         恒溫區(qū)

         加熱區(qū)長度200mm

         設(shè)備尺寸

         650*1200*650mm(**)

         設(shè)備凈重

         185kg

         供電電源

         AC220V50/60Hz;額定功率45KW

         可選真空

         客戶可根據(jù)實際需要選擇配置低真空系統(tǒng)或者高真空系統(tǒng)

         供氣系統(tǒng)

         客戶可根據(jù)實際需要選擇配置多通道浮子流量計或者質(zhì)量流量計等混氣供氣系統(tǒng)


        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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