準分子激光器是一種特殊類型的氣體激光器，其名稱源于工作介質——“受激準分子”，即處于激發態的短暫存在的稀有氣體鹵化物（如ArF、KrF、XeCl）。它產生高能量的脈沖激光，典型輸出波長位于紫外波段。

其核心工作原理是：通過快速脈沖放電，使惰性氣體與鹵素氣體的混合物形成激發態準分子。當這些準分子從激發態躍遷回不穩定的基態并迅速離解時，便釋放出紫外光子，經諧振腔放大后形成激光。

憑借紫外光的光子能量高、波長短的特性，準分子激光器在工業上主要應用于精密加工，如半導體光刻、OLED顯示屏退火、光纖布拉格光柵刻寫等。在醫療領域，它則是近視矯正手術（如LASIK手術）中用于**切削角膜的關鍵設備。

準分子激光器以其獨特的紫外、脈沖、高能量特性，成為了**制造和**醫療中不可或缺的工具

技術參數:

	適用于脈沖激光沉積鍍膜技術的準分子激光器一臺，使用KrF作為工作氣體。
激光波長	248±0.5nm；
脈沖能量	≥ 800mJ；
能量穩定性	≤1 %；
光束發散角	≤3×1mrad；
*大重復頻率	≥ 20Hz；
穩定功率	≥ 14W
脈沖寬度（FWHM）	：25±5ns
光斑尺寸	(24±4)×(10±2) mm
其他配置	配光學平臺一套，長度不低于激光器長度+30 cm，寬度不低于激光器寬度+60 cm，高度根據激光器出光口高度調整，激光器出光口中心距地面高度120 cm。 激光器工作氣體采用6000升預混氣一瓶、5000升高純氦氣一瓶； 配減壓閥及不銹鋼或無氧銅管路； 配分體式冷水機一臺，制冷功率≥ 1kW； 配反射鏡（含光具座）2套。 聚焦透鏡（含光具座）1套。