產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:CVD法培育鉆石

        • 產(chǎn)品型號:CY-MPCVD-10W
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡單介紹:
        人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結(jié)晶聚合而成的多結(jié)晶鉆石,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積PECVD合成法制造,人造鉆石主要用于制造切割工具等工業(yè)用途上,同樣也被使用在珠寶首飾上
        詳情介紹:

        人造鉆石是一種由直徑10到30納米的鉆石結(jié)晶聚合而成的多結(jié)晶鉆石,等離子增強(qiáng)化學(xué)氣象沉積PECVD合成法制造,人造鉆石主要用于制造切割工具等工業(yè)用途上,同樣也被使用在珠寶首飾上。

        技術(shù)參數(shù):

        微波源

        10 kW SAIREM微波發(fā)生器

        2.45GHz磁控管微波頻率

        循環(huán)器和隔離器

        自動(dòng)操作的EH-tuning元件

        等離子源

        6"等離子源,激發(fā)頻率2.45GHz
        能夠在低到高功率密度等離子體中工作
        獨(dú)特的高功率密度溫度控制能力
        氣體從下側(cè)進(jìn)入腔室
        偏置電極

        基板支架

        可更換基板支架:
        冷卻元件(約D75mm
        可更換支架板,便于清潔和維護(hù)
        鉬等離子接觸件
        生長過程中自動(dòng)調(diào)整高度

        小木屋

        蛤殼式蓋子,便于基板放置和清潔
        水冷鋁合金結(jié)構(gòu)
        氣體管理系統(tǒng)
        5條氣體管線,包括5個(gè)質(zhì)量流量控制器(根據(jù)要求添加)
        MFC系統(tǒng)
        壓力控制器范圍:100-300mbar

        真空

        渦輪分子泵+干式初級泵

        CVD控制器

        電腦控制器配方驅(qū)動(dòng)操作
        遠(yuǎn)程控制、檢測、系統(tǒng)升級
        基板攝像頭(可選)
        高溫計(jì)范圍:400-1700°C



        人造鉆石

        豫公網(wǎng)安備 41019702002438號

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