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產品詳情

  • 產品名稱：雙靶等離子濺射鍍膜儀（基礎型）

  • 產品型號：CY-PLZ180-II-DC-Q
  • 產品廠商：成越科儀
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
本型號小型等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統，全部觸摸屏操作，便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統，全部觸摸屏操作，便于學習使用。設備體積小巧造型美觀，是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。
詳情介紹：

技術參數

產品名稱

雙靶等離子濺射鍍膜儀（基礎型）

產品型號

CY-PLZ180-II-DC-Q

樣 品 臺

尺寸

100mm

到靶面距離

20~35mm高度可調

等離子濺射靶

數量

2英寸x2     

冷卻方式

自然冷卻    

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 200mm    

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質

304不銹鋼

抽氣接口

KF25

進氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

3000V

*大濺射電流

50mA

真空系統

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF25

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s（4m3/h）

極限真空度

≥1Pa

真空測量

電阻真空規

其    他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機功率

1.5kW

整機尺寸

570mm X 450mm X500mm

整機重量

30kg


豫公網安備 41019702002438號
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