產品詳情
        • 產品名稱:三路質量流量計

        • 產品型號:CY-3Z
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        產品特點:1.選擇多種氣體方式;2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕;3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏。
        詳情介紹:


        ○ 適用范圍
        1.半導體制造業
        2.真空鍍膜設備
        3.特殊材料表面處理
        4.燃氣控制
        5.泄漏檢測系統
        6.環境檢測分析設備
        7.化學,石化,冶金,光纖等


        ○ 產品特點
        1.選擇多種氣體方式
        2.304不銹鋼管芯,耐腐蝕
        3.不銹鋼雙卡快速接頭,連接方便,無泄漏

        ○ 技術參數

        功能

        三路質量流量計

        質子流量控制器

        工作溫度:5~45 oC
        *大壓力: 3x106 Pa
        精度: ±1.5% FS
        重復精度: ±0.2%F.S.
        流量范圍:
        一路: 0~100 SCCM
        二路: 1~199 SCCM 
        三路: 1~499 SCCM 
        注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用

        輸入電源

        AC 220V/50Hz單相

        功率

        150W

        機械壓力表

        有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接

        量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

        針閥

        316 不銹鋼

        通氣管道

        內部連接管道為1/4”不銹鋼管 

        外部通氣管道為1/4”聚四氟管 

        混氣罐

        Φ80X120mm

        截止閥及配件

        316不銹鋼針閥 

        Φ1/4” 不銹鋼管

        外形尺寸

        600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

        質量認證

        CE認證

        質保期

        一年質保期,終身維護

        豫公網安備 41019702002438號

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