產品詳情
        • 產品名稱:桌面型磁控濺射鍍膜儀上置靶槍

        • 產品型號:CY-MSZ254-II-DCRF-SS
        • 產品廠商:成越科儀
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        磁控濺射鍍膜儀是一種先進的物**相沉積設備,廣泛應用于半導體、光電子、顯示技術和表面工程等領域。該設備采用磁控濺射技術,通過磁場增強離子化效率,從而實現高質量、均勻的薄膜沉積。
        詳情介紹:
        磁控濺射鍍膜儀是一種先進的物**相沉積設備,廣泛應用于半導體、光電子、顯示技術和表面工程等領域。該設備采用磁控濺射技術,通過磁場增強離子化效率,從而實現高質量、均勻的薄膜沉積。

        磁控濺射鍍膜儀產品特點:

        ?    高效鍍膜:采用磁控濺射技術,沉積速率高,薄膜均勻性好。
        ?    多功能應用:支持多種靶材和基材,適用于不同材料的薄膜沉積。
        ?    智能控制:配備先進的控制系統,實現精準的工藝參數控制。
        ?    模塊化設計:方便維護和升級,可根據需求定制各種功能模塊。

        ?    環境友好:低能耗設計,減少對環境的影響。

        磁控濺射鍍膜儀技術參數:

        參數名稱

        參數說明

        產品名稱

        桌面型前開門雙靶磁控濺射鍍膜儀

        產品型號

        CY-MSZ254-II-DCRF-SS

        真空腔

        腔體材質

        304不銹鋼焊接而成,表面做拋光處理

        取放模式

        前開門方式取放樣品和靶材

        觀察窗

        直徑100mm真空窗口,配有磁力擋板,防止污染

        樣品臺

        樣品尺寸

        直徑≦100mm的平面樣品均可

        旋轉速度

        不旋轉和旋轉型(0-30RPM)可選

        加熱溫度

        RT-500;RT-800;RT-1000℃可選

        磁控靶

        靶槍類型

        普通永磁靶,可調角度

        靶材尺寸

        直徑2英寸,厚度≦3mm,

        濺射功率

        300W

        濺射方式

        直流濺射

        工作真空

        0.3-3Pa

        電源

        直流電源 300W *2

        濺射氣體

        高純氬氣,純度99.99%

        真空測量

        復合真空計,電阻規+電離規,測量范圍:105-10-5Pa

        真空獲取

        前級泵

        抽速 1.1L/S

        分子泵

        抽速  600L/S

        膜厚測量

        通常配CYKY膜厚測量儀

        也可選配進口品牌,價格額外計算

        外形尺寸

        550mm*350mm*450mm

        包裝尺寸

        770×720*730mm

        包裝重量

        110 KG

        豫公網安備 41019702002438號

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