產(chǎn)品詳情
        • 產(chǎn)品名稱:1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)

        • 產(chǎn)品型號(hào):CY-CVD1500-60-300-3TH-Q
        • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
        • 產(chǎn)品文檔:
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        簡(jiǎn)單介紹:
        1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)由1500℃單溫區(qū)管式爐、三路浮子流量計(jì)和高真空分子泵組組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表,可以用來(lái)控制爐管內(nèi)的氣氛環(huán)境。
        詳情介紹:

        1500℃單溫區(qū)3路浮子供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡(jiǎn)單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過(guò)簡(jiǎn)單的培訓(xùn)也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠極大的提高您的實(shí)驗(yàn)效率。爐管采用高純氧化鋁制成,爐體采用一體式設(shè)計(jì),獨(dú)特的設(shè)計(jì)能夠保證系統(tǒng)在1500℃運(yùn)行穩(wěn)定**,加熱元件采用高品質(zhì)硅碳棒,能夠達(dá)到1500℃高溫,若客戶有需求可以定制硅鉬棒加熱元件以達(dá)到更高的1700℃高溫。

        系統(tǒng)所配有的三路浮子流量計(jì),可以混合1~3路氣體,較為準(zhǔn)確的配制出實(shí)驗(yàn)所需的混合氣體;另有一壓力表安裝在浮子流量計(jì)正面,可以監(jiān)測(cè)氣體壓力及混合槽壓力。本系統(tǒng)還配有精密分子泵組,可以達(dá)到1.0E-3pa級(jí)別的真空度,較普通機(jī)械泵可以為用戶提供更純凈嚴(yán)苛的實(shí)驗(yàn)環(huán)境。

        適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫?zé)Y(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測(cè)等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實(shí)驗(yàn)。

        技術(shù)參數(shù):

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-CVD1500-60-300-3TH-Q

        爐管材質(zhì)

        高純氧化鋁

        爐管直徑

        60mm(可選配50mm80mm100mm

        爐管長(zhǎng)度

        1000mm

        爐膛長(zhǎng)度

        400mm

        加熱區(qū)長(zhǎng)

        300mm

        恒溫區(qū)長(zhǎng)

        150mm

        工作溫度

        1450

        控溫精度

        ±1

        控溫模式

        30段或50段程序控溫

        顯示模式

        LCD

        密封方式

        304不銹鋼真空法蘭

        法蘭接口

        1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭

        可抽真空

        4.4E-3Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz

        統(tǒng)

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-3F

        氣體通道

        3通道

        測(cè)量部件

        氣體浮子流量計(jì)

        測(cè)量量程

        A通道:0100ml/min    H2

        備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時(shí)需要特別注明。可根據(jù)客戶的具體要求來(lái)選配對(duì)應(yīng)的氣體種類和量程的流量計(jì)。

        B通道:16160ml/min    N2

        C通道:25250ml/min    Ar

        測(cè)量精度

        ±2.0%

        管道耐壓

        3MPa

        工作壓差

        50300KPa

        連接管道

        304不銹鋼

        控制閥門

        304不銹鋼針閥

        接口規(guī)格

        進(jìn)氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭

        統(tǒng)

        產(chǎn)品型號(hào)

        CY-GZK103-A

        分子泵

        CY-600

        前極泵

        旋片泵

        抽氣速率

        分子泵:600L/S

        綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達(dá):1.0E-3Pa

        旋片泵:1.1L/S

        抽氣接口

        KF40

        排氣接口

        KF16

        真空測(cè)量

        復(fù)合真空計(jì):電阻規(guī)+電離規(guī)

        極限真空

        1.0E-5Pa

        供電電源

        AC:220V 50/60Hz


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